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WG-8501全自动减薄机
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WG-8501全自动减薄机

支持轴向进给(In- Feed)磨削原理;设备配有在线测量仪单元,精确控制减薄厚度;配有具有自主产权的8英寸超精密空气主轴;粗磨和精磨轨迹重合技术,有效提高减薄加工稳定性,保证加工精度;设备通过优化研磨和传输系统参数,可实现100μm以下精密减薄。
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产品描述
参数
关键特点
技术参数

技术特点
  ●支持轴向进给(In- Feed)磨削原理;
  ●设备配有在线测量仪单元,精确控制减薄厚度;
  ●配有具有自主产权的8英寸超精密空气主轴;
  ●粗磨和精磨轨迹重合技术,有效提高减薄加工稳定性,保证加工精度;
  ●设备通过优化研磨和传输系统参数,可实现100μm以下精密减薄。
性能指标

全自动减薄机

WG-8501

最大加工物尺寸

Φ200mm

主轴

主轴数量

2

输出功率

5.5 kW

转速

1000-6000rpm

Z轴

行程

120mm

进给速度

0.00001 〜0.08mm/s

最大返回速度

50mm/s

分辨率

0.1μm

承片台数量

3

工作台转速

0-300rpm

减薄精度

片内厚度偏差

<3μm

片间厚度偏差

<±3μm

表面粗糙度Ra

<0.2μm (2000#Grinding wheel, Si)

测量仪

测量范围

0-1800pm

分辨率

0.1μm

重复精度

±0.5μm

其他规格

外形尺寸(WxDxH)

1200mmx2760mmx1950mm

设备重量

≈3800 kg

 

关键词:
主轴
设备
精度
jm
厚度
加工
0.1pm
分辨率
转速
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